E-UMS130-X жоғары дәлдіктегі, төмен профильді сызықтық моторды аудару кезеңі
Тікелей позицияны өлшейтін тікелей жетек
Ықшам, қол жетімді сахналық дизайндағы нанопозициялау өнімділігі және жоғары жылдамдық
● Сызықтық қозғалыс ауқымдары 60, 110 және 160 мм;
● 10 нм-ге дейінгі ең аз қадамдық сызықтық қозғалыс;
● Жоғары дәлдікті позиция кодер опциялары: Қосымша және абсолютті өлшеу;
● Шағын өлшем: 135 мм × 45 мм қимасы;
● Жоғары жүк көтергіштігі мен жоғары геометриялық өнімділік үшін айқастырылған роликті бағыттауыштар;
● Үтіксіз 3 фазалы сызықты қозғалтқыштар