Техникалық сипаттама | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (ауа мойынтіректері) |
Мотор түрі | Үш фазалы үтіксіз қозғалтқыш | Дауыс орамының қозғалтқышы+ |
Ажыратымдылық | Әдепкі 100 нм сандық мөлшер | 1vpp 5 нм дейін |
Қозғалтқыштың күші | Үздіксіз 60Н/төбе 210Н | Үздіксіз 60Н/төбе 210Н |
Ең аз қадам өлшемі[nm] | 200нм | 100нм |
Саяхат [мм] | 200×200 | 10 |
Қайталану мүмкіндігі [um] | ±0,3 | |
Позиция дәлдігі [um] | ±1 | ±0,5 |
Жазық [мм] | 10ум | 5ум |
Түзулік [мм] | 1ум | 1ум |
Максималды жылдамдық [мм/с] | 500мм/с | 30мм/с |
Жүктеме сыйымдылығы [кг] | 5 кг (пневматикалық тұрақты күш тепе-теңдігі салмағы бар Z осі) |